如今人们在工业上对于多种气体的使用更为熟练，同时在咱们生活中也有了它们的身影。而对于不同气体物质之间的提纯技术就显得尤为重要了起来。
气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等，所以可将组成气体的物质(或元素)称为该气体成分。因此气体纯度的含意可理解为:除本气体成份外，所含其它物质的多少。例如:氮气的纯度，是指除N成份外，含的02、H2、Ar、CO2、H20、金属、尘粒等杂质的多少;氨气的纯度，是指除NHg成份外，含有的02、N2、 CO2、 H20、 尘粒等杂质的多少;又如氮和氦的混合气，是指除N2和He成份外，含有的02、CO2、 H20尘粒等杂质的多少。
气体纯度的提法有多种，如普通纯、高纯气体、电子纯、特纯等，随着超大规模集成电路(VLSI) 和特大规模集成电路(ULSI)的发展，又有VLSI和UL Sl级纯的超净气体。这些提法都不十分确切，只是粗略的讲了气体纯度的高低，没有真的说明气体纯度的大小。
气体纯度常用的表示方法:
1、用腼分数表示，如99，99.5 ,99.9 ,99.99,99.999,99.9999,99.9999等百分比。
2、用“N"表示，如3N, 5N, 4.8N, 5.5N, 6N, 7N等，N数目与(1) 中的“9”的个数相对应，小数点后的数表示不足“9”的数。如4N (99.99百分比)，6N ( 99.999百分比) ,7N(99.9999百分比),48N(99.998百分比),5 5N(99.9995百分比)等。
根据气体纯度的不同，通常又将气体纯度分为四级，即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体，以下给出气体纯度等级和器件生产工艺上的应用。
气体等级
普通气体 纯度要求：99.9百分比 ，器件生产工艺上的应用：一般器件;纯气体 纯度要求：99.99-99.999百分比 ，器件生产工艺上的应用：晶体管和晶闸管等;高纯气体 纯度要求：99.999-99.9999百分比 ，器件生产工艺上的应用：大规模集成电路和特殊器件等;超高纯气体 纯度要求：> 99.9999百分比 ，器件生产工艺上的应用：超大规模集成电路和特大规模集成电路等
