在使用气体作业的进程中，通常还有很多的方面需要去严谨的查看。氦质谱检漏法是运用氦质谱检漏仪的氦分压力丈量原理，结束被检件的氦泄露量丈量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄露出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性辨认才华，仅给出气体中的氦气分压力信号值。
根据检漏过程中的示漏气体存贮方位与被检件的联络不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，以下总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
氦质谱检漏-正压法，正压法首要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。正压法是不需求辅佐的真空体系，可以准确定位，结束任何工作压力下的检测。可是该办法检测灵敏度较低，检测效果不确定度大，受丈量环境条件影响大。
选用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品外表有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再选用吸枪的办法检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，然后结束被检产品泄露丈量。
依照搜集氦气办法的不同，又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。其间正压吸枪法选用检漏仪吸枪对被检产品外表面进行扫描探查，可以结束漏孔的准确定位; 正压累积法选用有必定密闭功用的氦罩将被检产品悉数罩起来，选用检漏仪吸枪丈量必定时间段前后的氦罩内氦气浓度改变量，结束被检产品总漏率的准确丈量。
另一种十分实用的方法就是背压法了，这种方法的运用在首要多种类型的电子元器件产品检漏。该办法检测灵敏度高，能结束小型密封容器产品的泄露检测，可以进行批量化检测。可是不能进行大型密封容器的漏，不然由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个丈量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检结束后还需求选用其它办法进行粗检，打扫大漏的或许。
